点击图片查看大图韩国原装进口高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器，使用特别的热传感器和控制电路提高计算精度。广泛应用于半导体工业和其他行业，产品设计坚固、耐用，且经济。
应用：
LINE TECH气体质量流量流量计和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。
优势：
l 测量质量流量
l 不需要温度、压力补偿
l 紧凑的流量控制系统
l 高精度（±1%F.S）
l 耐高压（90公斤）
l 快速响应时间（＜1秒）
l 高重复性（±0.25%F.S)
l 量程范围:
规格：
型号
M3030V
流量范围（N2)
0.01~30 slpm
响应时间
＜2秒
精确度
±1%
重复精度
±0.25%
输入输出信号
0~5Vdc
供电
+15Vdc or +24Vdc,350mA
最大工作压力
5~1300 psia
最大工作温度
0~50℃
漏率
1×10-9atm.cc/sec
控制范围
2~100%
尺寸：
